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英铂科学仪器低温探针台覆盖5K至700K,助力微纳器件多场耦合测试

英铂科学仪器提供开循环与闭循环低温探针台解决方案,覆盖5K至700K温度范围,支持DC、RF、微波及高阻等多类型测试,面向高校、科研院所和半导体企业解决低温、变温及多场耦合条件下的器件电学表征难题。

量子器件、纳米材料、低温半导体及微纳电子研究持续发展,测试系统需要同时满足宽温区控温、低振动、高频测量和样品快速更换等要求。传统液氦、液氮制冷方案在运行成本、实验连续性和环境控制方面存在一定限制,科研与产业客户对高稳定性、可定制的低温测试平台需求不断提升。

英铂科学仪器闭循环低温探针台采用闭循环制冷机制冷,无需持续消耗液氦和液氮,标准温度范围为5K或10K至350K,配置高温选件后可扩展至20K至700K;系统冷却时间小于2.5小时,控温稳定性达到±50mK,样品台振动小于1μm(X、Y、Z轴),支持DC至67GHz测量,最多可配置6个探针臂。开循环低温探针台最大支持102mm(4英寸)样品,可用于材料与器件的电学、光电、参数、RF及微波特性测试。

在安徽大学项目中,英铂科学仪器搭建极低温磁场耦合探针测试平台,实现10mK超低温、9T强磁场条件下的微纳器件多场耦合测试;在中电科某院所项目中,英铂科学仪器定制真空低温探针台系统,用于特种电子器件极低温电学性能测试。相关方案通过温控、真空、磁场和电学测试模块的集成,减少客户多设备协同调试工作,提升复杂实验条件下的数据获取能力。

除低温探针台外,英铂科学仪器还提供探针冷热台、真空磁场探针台、热氮机、探针卡及半导体失效分析设备,并可根据客户样品尺寸、测试频率、温度范围和磁场条件定制实验室集成方案。公司已服务高校、科研院所、半导体制造企业及第三方检测机构等超过2000家合作客户,设有全国8个售后服务网点,提供方案设计、设备交付、安装调试、操作培训与维保服务。

英铂科学仪器成立于上海,专注于半导体晶圆级电性能测试、微纳米精密表征和极低温磁场测试设备,是国内少数能够提供全系列高低温、真空、磁场探针台整套解决方案的本土厂商。公司具备国家级高新技术企业、上海市专精特新中小企业及上海市科技小巨人培育企业等资质,持续以自研设备与全球精密仪器资源整合,为科研与产业客户提供一站式精密测试解决方案。