导语
岱美仪器技术服务（上海）有限公司近日围绕薄膜材料检测场景，推出 Film Sense FS-8 椭偏仪测量方案。该方案支持 8 个波长、370–950 nm 光谱范围，可用于超薄膜、透明厚膜及吸收性半导体薄膜的厚度、折射率和多层膜堆叠测量，为半导体、光电和科研实验室提供更高效率的薄膜工艺控制工具。
行业背景
随着半导体、显示、光伏和光学薄膜工艺持续向更薄、更复杂的多层结构演进，传统单一波长测量方式在灵敏度、覆盖范围和多参数分析能力上面临限制。客户不仅需要看“厚不厚”，还要同步判断均匀性、材料光学常数和工艺窗口，薄膜测试正从单点检测转向过程控制。
方案亮点
FS-8 椭偏仪采用 8 个波长配置。其中，370 nm 紫外波长可提升对小于 10 nm 超薄膜的测量灵敏度；735、850 和 950 nm 长波段则可支持最厚 5 μm 的透明薄膜，以及 poly-Si、SiGe、a-Si 等吸收性半导体薄膜测量。
多波长与更宽光谱范围，也提升了对多层膜堆叠结构的解析能力。对于科研实验室、课堂教学、原位过程控制和工业质量控制等场景，该设备可帮助用户在同一平台上完成厚度、折射率和模型拟合分析，减少多设备切换带来的测试成本。
服务落地
岱美仪器表示，公司将结合本地化工程师团队和原厂技术培训，为客户提供选型、安装、调试、应用验证和后续维护支持，重点覆盖半导体生产、光学薄膜、材料研发与工业质检等场景。对于需要对超薄膜、透明膜和吸收性膜层进行稳定测量的用户，该方案有助于提升工艺监控效率，缩短样品分析周期。
企业简介
岱美仪器技术服务（上海）有限公司成立于 2002 年，深耕半导体、光电与精密测量领域，长期代理海外高端仪器品牌，提供薄膜测量、晶圆检测、晶圆键合、防振隔振等设备及本地化技术服务，业务覆盖中国大陆及东南亚市场。