2026年7月，岱美仪器技术服务（上海）有限公司传来新进展：公司代理的 ThetaMetrisis FR-Scanner 膜厚测量仪 再获国内第三代半导体PSS衬底供应商采购，用于 2-6英寸图形化蓝宝石衬底 的晶圆薄膜多点Mapping厚度检测，帮助客户提升外延工艺控制效率与良率稳定性。
随着LED、功率器件和光电材料工艺持续向薄膜化、精细化发展，生产端对膜厚检测提出了更高要求。传统接触式抽检方式不仅存在损伤风险，也难以覆盖复杂基底和多点位厚度一致性分析，已逐渐不能满足研发验证和量产质控的双重需求。
FR-Scanner 采用桌面式自动化测绘设计，可对晶圆涂层厚度进行快速、准确检测，并同步测量 厚度、折射率、均匀性和颜色 等关键参数。其真空吸盘结构可适配不同直径与异形样片，适合透明和半透明基底的无损测试。依托岱美仪器在半导体和光电检测领域的长期服务经验，公司已形成覆盖设备选型、安装调试、原厂培训到现场维护的一体化支持能力，并持续服务半导体、光电及材料研发客户。
在该PSS衬底应用中，设备主要用于晶圆薄膜多点Mapping厚度检测，帮助客户识别外延前后的厚度差异，减少工艺波动带来的不确定性。对于需要同时兼顾研发效率、批量检测和无损测量的企业而言，这类膜厚测量仪可直接嵌入前道工艺和品质管控环节，成为提升一致性的重要工具。
岱美仪器技术服务（上海）有限公司成立于2002年，长期专注于半导体、光电、精密测量与先进材料研发领域的高端进口仪器代理与技术服务，围绕膜厚测量、晶圆检测、椭偏分析、应力测量、方阻测试及防振隔振等场景，为客户提供设备导入、应用支持与本地化售后服务。