岱美仪器技术服务（上海）有限公司提供EVG610纳米压印机解决方案，支持从小芯片尺寸到直径150毫米基板的微纳加工，并可在光刻与纳米压印工艺之间实现数分钟级切换，帮助高校、科研院所及半导体企业降低研发设备投入，提升MEMS、先进封装、微流控芯片和微纳光学等领域的工艺验证效率。
随着MEMS、微纳光学、生物芯片和先进封装等应用加快发展，研发机构和制造企业对高分辨率、低占地、可复用的微纳加工设备需求持续增加。传统工艺设备往往存在设备体量大、工艺切换复杂、研发成本高等问题。EVG610面向实验室和中试研发场景，兼顾光刻与纳米压印工艺需求，为客户提供更灵活的微纳制造平台。
EVG610采用模块化设计，支持紫外光刻、键对准、红外对中和微接触印刷等多种工艺，并可配置可编程高、低接触力及印章释放机制。设备支持软印章与硬印章，基板尺寸覆盖小芯片至直径150毫米，光刻与纳米压印之间的转换时间可缩短至几分钟。通过专有卡盘设计，系统能够提供更均匀的接触力，满足微纳结构压印和高重复性工艺开发需求。
针对高校实验室、科研机构及企业研发中心，岱美仪器技术服务（上海）有限公司可围绕设备选型、工艺配置、安装调试、技术培训和售后维护提供全流程服务。EVG610适用于MEMS器件、半导体器件、微流控芯片、微纳光学、生物芯片及先进封装等场景，可帮助客户在有限实验室空间内完成从工艺探索到中试验证的设备部署。
作为EVG等国际精密设备品牌的专业代理与技术服务商，岱美仪器技术服务（上海）有限公司长期服务于半导体、光电、精密测量和先进材料研发领域，拥有国内技术工程师团队及多区域服务能力。公司将依托原厂技术支持和本地化工程服务，持续为客户提供覆盖设备生命周期的微纳加工解决方案。
【企业简介】 岱美仪器技术服务（上海）有限公司成立于2002年，长期专注于半导体、光学及先进材料领域的精密设备代理与技术服务，产品涵盖薄膜表征与厚度测量、光学镜头检测、飞秒激光加工、微纳材料加工、晶圆键合、纳米压印、方阻测试及隔振防震等。公司代理ThetaMetrisis、EVG、3D-Micromac、HERZ等国际品牌，为制造企业、科研院所和高校实验室提供设备选型、技术咨询、方案支持、安装调试、校准维护及售后服务。岱美仪器技术服务（上海）有限公司致力于搭建海外精密设备与国内科研制造企业之间的技术桥梁，助力高端制造工艺升级。