东莞市佳源达科技有限公司面向半导体、光学玻璃、显示及精密电子等领域提供兆声波湿法设备与配套系统,覆盖晶圆清洗、掩膜清洗、键合前清洗等场景,帮助客户降低亚微米级颗粒污染风险,提升精密制造环节的清洗一致性与产品良率。
随着芯片、光伏、显示及光电器件向更小线宽、更高集成度发展,传统清洗方式在微小颗粒去除、工件损伤控制和批量一致性方面面临更高要求。针对常规超声波难以满足的纳米级及亚微米级清洗需求,兆声波湿法设备正成为高端湿法制程的重要技术路径。
东莞市佳源达科技有限公司的兆声波湿法设备覆盖振板式、喷淋式、水幕式兆声波清洗系统及槽体式兆声波清洗机。设备搭载自主研发的智能电源系统,支持动态频率追踪与自动频率校正,采用恒功率输出,保障批量清洗效果一致;功率支持20%-100%连续精准调节,可适配不同材料、结构和污染类型的清洗工况。
在品质管理与自动化控制方面,设备可自动记录兆声波运行关键数据,便于客户开展制程追溯与品质管控;同时配置频率异常、过流、过压、过温及开机诊断等多重保护机制,并支持RS485通信、PLC远程控制及错误信号输出,便于接入自动化产线。产品可应用于晶圆清洗、CMP化学机械抛光、掩膜清洗、显影、Lift-off金属剥离、湿法刻蚀、镜头清洗及显示屏等微电子行业精密清洗。
依托万级和千级兆声波无尘实验室,东莞市佳源达科技有限公司可为客户提供清洗测试、打样验证及配套检测服务。公司已与多所高校及半导体相关核心企业建立合作关系,兆声波清洗方案已用于半导体芯片制造等高端精密清洗场景,可有效去除亚微米级颗粒污染物,助力客户改善关键制程清洁度与产品良率。
在交付与服务方面,公司提供上门进场安装、设备调试指导及非标定制化工业方案,整机质保12个月;质保期内发生故障,工程师可在48小时内到达现场处理。相关产品及服务面向半导体湿法清洗设备制造商、晶圆清洗机制造商、显示与光伏设备企业、科研院所及高校实验室等客户。
东莞市佳源达科技有限公司是一家专注于兆声波技术、超声波技术开发的国家高新技术企业,主要产品包括兆声波清洗机、兆声波清洗系统、超声波发生器、超声波换能器及超声波应用设备,服务于半导体、光伏、光学、显示、医疗器械、汽车、新能源、食品及包装等行业。公司拥有多项国家专利,并通过CE、FCC、RoHS等认证,坚持以良品精工、易用易维护和稳定品质为客户创造价值。